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过滤器检漏系统及静电和离子发生器测试

无尘车间设施过滤器系统检漏这项测试旨在验证设施不存在旁路泄漏,过滤器不存在缺陷(过滤器介质和密封框架上的小眼及其他损伤)与泄漏(过滤器框架和密封垫圈上的旁路泄漏,过滤器安装架的泄漏),从而确认终端高效过滤器安装良好。

4.2.5气流目检这项测试的目的旨在确定设施内气流的平稳度、气流模式及气流在空间与时间上的其他特性。测试程序见B.7。

4.2.6风向测试这项测试,旨在检验整个单向流洁净区的风向。测试程序见B.8。“4.2.7温度与湿度均匀性测试这项测试旨在证明洁净室空气处理系统在所测区域内、在客户规定的时间段里将空气的温度和湿度(以相对湿度或露点表示)控制在限值以内的能力。这些测试的程序见B.9与B.lo。

4.2.8静电和离子发生器测试这些测试旨在检定物体上的静电电压、材料的防静电性,在设施中进行静电控制所使用的离子发生器(即电离器)的性能。静电测试旨在检定工作表面和产品表面的静电电压,地板、工作台顶部的防静电性能等。离子发生器浏试旨在检定离子发生器对表面静电的清除性能。测试程序。